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AALBORG
    发布时间: 2017-07-25 10:00    


 

美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的气体质量流量计/控制器的生产厂家,其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、材料科学 、石油化工、医药、环保等领域。
产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器。
典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点:
-刚性金属结构
-流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
-最大压力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦气
-NIST系统标定可追踪的证明
-可倾斜的LCD读表
-0-5Vdc或4-20mA信号输出
-电路保护
-可用作便携式的设备
-0到100%比例显示
-可配备流量计算机

 


 

流量计/控制器
 


 

多种
 



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